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集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究

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集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
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SiCN 集成電路 ULSI 特性 CMP 制備 互連 研究
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擴散阻擋層 阻擋 硅氮 集成電路 互連 制備
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